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日本臺(tái)灣合作開發(fā)新型晶體管結(jié)構(gòu),助力2nm技術(shù)

2021-03-12 來源:中央社
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中國臺(tái)灣半導(dǎo)體研究中心(TSRI)與日本產(chǎn)業(yè)技術(shù)總合研究所(AIST)合作,開發(fā)新型晶體管結(jié)構(gòu)。日本媒體指出,這有助制造2nm以下線寬、規(guī)劃應(yīng)用在2024年后的新一代先進(jìn)半導(dǎo)體。

中國臺(tái)灣半導(dǎo)體研究中心在去年12月下旬公布,于IEEE國際電子組件會(huì)議IEDM(International Electron Devices Meeting)在線會(huì)議中,與日本產(chǎn)業(yè)技術(shù)總合研究所共同開發(fā)低溫芯片鍵合技術(shù);相關(guān)技術(shù)可將不同通道材料的基板,直接鍵合成一個(gè)基板,并應(yīng)用在互補(bǔ)式晶體管組件上。

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這項(xiàng)技術(shù)可有效減少組件的面積,提供下世代半導(dǎo)體在多層鍵合與異質(zhì)整合的研究可行性參考。

日本經(jīng)濟(jì)新聞中文網(wǎng)今天報(bào)導(dǎo),這項(xiàng)共同研究計(jì)劃從2018年啟動(dòng),日本和中國臺(tái)灣研究機(jī)構(gòu)各自發(fā)揮優(yōu)勢(shì);日本產(chǎn)業(yè)技術(shù)總合研究所利用先前累積的材料開發(fā)知識(shí)和堆棧異種材料的技術(shù),中國臺(tái)灣半導(dǎo)體研究中心在異質(zhì)材料堆棧晶體管的設(shè)計(jì)和試制技術(shù)上提供協(xié)助。

相關(guān)技術(shù)是將硅(Si)和鍺(Ge)等不同信道材料從上下方堆棧、使「n型」和「p型」場(chǎng)效應(yīng)晶體管(FET)靠近、名為CFET的結(jié)構(gòu)。

報(bào)導(dǎo)指出,與之前晶體管相比,CFET結(jié)構(gòu)的晶體管性能高、面積小,有助制造2nm以下線寬的新一代半導(dǎo)體;此次開發(fā)的新型晶體管,預(yù)計(jì)應(yīng)用在2024年以后的先進(jìn)半導(dǎo)體。

日本產(chǎn)業(yè)技術(shù)總合研究所表示,相關(guān)技術(shù)在世界上是首次,規(guī)劃未來3年內(nèi)向民間企業(yè)轉(zhuǎn)讓技術(shù),實(shí)現(xiàn)商用化。

晶圓代工龍頭臺(tái)積電也積極布局先進(jìn)半導(dǎo)體制程,董事長(zhǎng)劉德音日前指出,臺(tái)積電3nm制程依計(jì)劃推進(jìn),甚至比預(yù)期還超前一些。臺(tái)積電原訂3nm今年試產(chǎn),預(yù)計(jì)2022年下半年量產(chǎn);臺(tái)積電規(guī)畫3nm采用鰭式場(chǎng)效晶體管(FinFET)架構(gòu),2nm之后轉(zhuǎn)向環(huán)繞閘極(GAA)架構(gòu)。

臺(tái)積電日前也公告赴日本投資定案,將在日本投資設(shè)立100%持股子公司,實(shí)收資本額不超過186億日元,約1.86億美元,擴(kuò)展三維芯片(3DIC)材料研究,預(yù)計(jì)今年完成。

中國臺(tái)灣半導(dǎo)體研究中心布局包含下世代組件、前瞻內(nèi)存、硅基量子計(jì)算次系統(tǒng)開發(fā)等半導(dǎo)體技術(shù)與IC應(yīng)用技術(shù)服務(wù)平臺(tái),提供從組件、電路到系統(tǒng)整合的一條龍服務(wù),建立半導(dǎo)體制造、封裝測(cè)試、IC設(shè)計(jì)、硅智財(cái)、系統(tǒng)整合等開放性信息與服務(wù)平臺(tái)。